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1916年愛因斯坦提出的“自發和受激輻射”理論是現代激光系統的物理學基礎。但是，在此之后的40多年里，一直沒有人在實驗室證實受激輻射的存在。

20世紀50年代由于無線電技術的迅速發展，Schawlow和Townes依據愛因斯但的理論，將電磁波的研究范圍從短波擴大到微波波段，研究成功了當時被稱為MASER的一種儀器，即微波激射器，又稱微波量子放大器，這種設備可使微波束更趨于集中。

1958年，他們又將微波激射器原理從微波擴大到了光譜波段，提出了激光器理論。此時，TheodoreMaiman也正在進行這方面的研究。

1960年，他成功地應用人工合成的淡紅色寶石晶體制造出世界上第一臺激光器，為輸出波長694.3nm，脈能400mJ的相干光，被稱做激光。為了表明其威力，Maiman用毫米波的脈沖激光在一打剃須刀片上成功地進行了一次鉆孔實驗。之后的4年里，激光器家族又相繼出現了許多種類型。

1961年，Java等研制成功了波長1150nm、近紅外線的氦氖（He－Ne）激光器；同年，Johnson發明了摻銣釔鋁石榴石（Nd：YAG）激光器。

1962年，Bennett研制成功了波長為488nm的氬（Argon）激光器。

1964年，Pate等又發明了二氧化碳（CO2）激光器。隨后，多種固體、氣體和半導體激光器相繼問世，標志著一門新興學科——激光技術的形成。目前激光已廣泛應用到激光焊接、激光切割、激光打孔（包括斜孔、異孔、膏藥打孔、水松紙打孔、鋼板打孔、包裝印刷打孔等）、激光淬火、激光熱處理、激光打標、玻璃內雕、激光微調、激光光刻、激光制膜、激光薄膜加工、激光封裝、激光修復電路、激光布線技術、激光清洗等。